Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡是一款用于失效分析的高精度高性能且易使用的原子力顯微鏡，Park NX-Hivac可為用戶提供精確且高效的測量結(jié)果。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精準(zhǔn)的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上精細(xì)控制真空條件，在抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。

Park NX-Hivac 技術(shù)參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選50 µm × 50 µm)

驅(qū)動(dòng)臺(tái)

Z位移臺(tái)行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

樣品架

樣品大小: 尺寸上限為 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可達(dá) 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍長工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel

物理信息

內(nèi)真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

真空等級(jí): 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達(dá)到 10-5 torr

軟件

SmartScan™

AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動(dòng)模式的使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

真空管理器

自動(dòng)真空控制軟件

電子

集成功能
4通道靈活的數(shù)字鎖相放大器
彈簧常數(shù)校準(zhǔn)（熱法，可選）
數(shù)字Q控制

外部信號(hào)接入
20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調(diào)制和交流偏置